DECHUAN کمپرسور هوای بدون روغن را برای آزمایشگاه های نیمه هادی برای صادرات مستقیم تولید می کند. این سیستم تخصصی هوای بدون روغن تایید شده را برای جلوگیری از آلودگی ویفر اتاق تمیز و نقص های پرهزینه ساخت ریزتراشه فراهم می کند. تماس با ما!
برای ایجاد خطوط مفید قابل اعتماد برای تأسیسات تحقیقاتی دقیق، منبع از کمپرسور هوای بدون نفت چین برای تامین کنندگان آزمایشگاه های نیمه هادی است. محلولهای هوای با خلوص بالا DECHUAN از مهر و مومهای جداکننده کربن چند لایه برای حذف هیدروکربنهای کمیاب استفاده میکنند و کیفیت گاز بکر را برای حکاکی سیلیکونی حیاتی تضمین میکنند.
در ساخت نیمه هادی و لیتوگرافی لایه نازک، حتی یک قطره میکروسکوپی بخار نفت که از طریق خط هوا منتقل می شود، می تواند کل دسته تولید را خراب کند. این محصول تخصصی به گونه ای طراحی شده است که بالاترین استانداردهای خلوص را رعایت کند:
• تحویل هوای کلاس 0 دارای گواهی TÜV: سیستمهای ما تحت آزمایشهای دقیق در دمای عملیاتی متغیر قرار میگیرند. تجزیه و تحلیل مستقل هیچ اثری از روغن در جریان هوای خروجی را تأیید می کند.
• مسیرهای هوای داخلی بدون خوردگی: هر قطعه لوله، بسته خنک کننده، و ماتریس جداسازی در پایین دست محفظه تراکم از فولاد ضد زنگ درجه یک ساخته شده است تا از آلوده شدن خطوط هوای اتاق تمیز پوسته های زنگ جلوگیری کند.
• یکپارچه سازی پیشرفته Elektronikon®: کنترلر یکپارچه معیارهای عملیاتی را به دقت دنبال می کند و دارای خاموشی های ایمنی پیشگیرانه است تا اطمینان حاصل شود که هرگز هوای ناخالص وارد شبکه آزمایشگاهی نمی شود.
در ساخت ویفر نیمه هادی، یک قطره آئروسل روغن می تواند کل محیط اتاق تمیز را آلوده کند، هزاران ویفر سیلیکونی را از بین ببرد و باعث از دست رفتن زمان تولید میلیون ها نفر شود. کمپرسورهای هوای سنتی نمی توانند خلوص صفر مطلق هیدروکربن مورد نیاز برای این فرآیندهای در مقیاس نانومتری را تضمین کنند.
کمپرسور تخصصی هوای بدون روغن برای آزمایشگاه های نیمه هادی، امنیت کامل فرآیند را تضمین می کند:
• جریان هوای CLASS 0 گواهی شده: برای اطمینان از حضور صفر مطلق روغن، به شدت توسط TÜV در محدوده های حرارتی و فشار شدید آزمایش شده است.
• قطعات داخلی بدون ذرات: پیش خنک کننده های فولادی ضد زنگ و مبدل های حرارتی ستاره باله، پوسته های اکسیداسیون یا ریزش مواد شیمیایی را در مسیر هوا از بین می برند.
• سپر نظارت الکترونیکی: هشدارهای تعمیر و نگهداری پیشگیرانه و خاموش شدن خودکار خطا از انحرافات سیستم قبل از رسیدن به ابزار اتاق تمیز شما جلوگیری می کند.
• رتبه بندی قدرت سیستم: 55kw - 900kw تنظیمات با چگالی بالا.
• نرخ تحویل حجمی: 4.2 - 148.5 m³/min خروجی جریان تمیز.
• طبقه بندی محتوای روغن: ISO 8573-1 Class 0 اعتبار سنجی کاملاً بدون روغن.
• چیدمان خنک کننده: خنک کننده سیال از جنس استنلس استیل که از خروج مواد شیمیایی جلوگیری می کند.
ZR/ZT 55-90 (FF) STD| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | توان نصب شده (کیلووات) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 55 -7.5STD | 7.5 | 169.7 | 10.2 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55 -8.6STD | 8.6 | 156.6 | 9.4 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55 -10STD | 10 | 140.9 | 8.5 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -7.5STD | 7.5 | 224.7 | 13.5 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -8.6STD | 8.6 | 214.9 | 12.9 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -10STD | 10 | 205.0 | 12.3 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -7.5STD | 7.5 | 267.2 | 16.0 | 90 | 72 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -8.6STD | 8.6 | 250.9 | 15.1 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -10STD | 10 | 236.5 | 14.2 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 55 -7.5STD | 7.5 | 166.4 | 10.0 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -8.6STD | 8.6 | 153.2 | 9.2 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -10STD | 10 | 137.6 | 8.3 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -7.5STD | 7.5 | 221.3 | 13.3 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -8.6STD | 8.6 | 211.6 | 12.7 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -10STD | 10 | 201.6 | 12.1 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -7.5STD | 7.5 | 263.9 | 15.8 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -8.6STD | 8.6 | 247.5 | 14.9 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -10STD | 10 | 233.1 | 14.0 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 74.7-229.4 | 4.5-13.8 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 81.7-202.9 | 4.9-12.2 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 74.1-282.5 | 4.4-16.9 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 75.5-250.5 | 4.5-15.0 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 71.2-226.0 | 4.3-13.6 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 78.2-199.6 | 4.7-12.0 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 70.6-279.1 | 4.2-16.7 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 72.0-247.1 | 4.3-14.8 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
شرایط مرجع عملکرد برای واحد طبق پیوست C، ویرایش چهارم (2009) ISO 1217 اندازهگیری شد:
· رطوبت نسبی: 0%
· فشار ورودی مطلق: 1 بار
· دمای ورودی: 20 درجه سانتی گراد نرخ تخلیه (FAD) در فشارهای عملیاتی زیر اندازه گیری شد:
نوع سرعت ثابت:
· -7.5 میله نوع: 7 bar
· -8.6 میله نوع: 7 bar
· نوع -10 میله: 9 بار
نوع VSD:
· -8.6 میله نوع: 7 bar
· -10.4 نوع میله: 9 بار
· (2) سطح فشار صدا انتشار وزنی کلاس A ایستگاه کاری (LpWSAd). اندازه گیری بر اساس ISO 2151:2004 (با استفاده از روش اسکن شدت صدا 150 9614/2). ضریب تصحیح جدید اضافه شده یک مقدار کاملا نامشخص (KpAd) است که مطابق با کد تست است.
· (3) وزن فقط برای مرجع است. وزن واقعی ارائه شده غالب خواهد بود.
ZR/ZT 110-160 (FF) STD
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | توان نصب شده (کیلووات) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 110 -7.5 STD | 7.5 | 318.2 | 19.1 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 -8.6 STD | 8.6 | 297.5 | 17.8 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 -10 STD | 10 | 277.6 | 16.7 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -7.5 STD | 7.5 | 362.9 | 21.8 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -8.6 STD | 8.6 | 338.5 | 20.3 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -10 STD | 10 | 314.4 | 18.9 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -7.5 STD | 7.5 | 392.9 | 23.6 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -8.6 STD | 8.6 | 364.1 | 21.8 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -10 STD | 10 | 350.8 | 21.0 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -7.5 STD | 7.5 | 434.0 | 26.0 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -8.6 STD | 8.6 | 418.3 | 25.1 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -10 STD | 10 | 399.0 | 23.9 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 -7.5 STD | 7.5 | 315.0 | 18.9 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -8.6 STD | 8.6 | 294.2 | 17.6 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -10 STD | 10 | 274.3 | 16.5 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -7.5 STD | 7.5 | 359.6 | 21.6 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -8.6 STD | 8.6 | 335.3 | 20.1 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -10 STD | 10 | 311.1 | 18.7 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -7.5 STD | 7.5 | 389.6 | 23.4 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -8.6 STD | 8.6 | 360.8 | 21.6 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -10 STD | 10 | 347.5 | 20.9 | 145 | 79 | 3126 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -7.5 STD | 7.5 | 430.6 | 25.8 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -8.6 STD | 8.6 | 414.9 | 24.9 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -10 STD | 10 | 395.6 | 23.7 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR110VSD-8.6 STD | 8.6 | 100.5-319.3 | 6.0-19.2 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR110VSD-10.4 STD | 10.4 | 167.1-292.1 | 10.0-17.5 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-8.6 STD | 8.6 | 107.1-357.1 | 6.5-21.4 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-10.4 STD | 10.4 | 166.6-331.0 | 10.0-19.9 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 123.3-390.0 | 7.4-23.4 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 166.6-357.8 | 10.0-21.5 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 123.3-411.0 | 7.4-24.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 166.6-377.6 | 10.0-22.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 VSD-8.6 | 8.6 | 99.9-327.6 | 6.0-19.2 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 VSD-10.4 | 10.4 | 165.5-291.9 | 9.9-17.5 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-8.6 | 8.6 | 124.8-357.5 | 7.5-21.4 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-10.4 | 10.4 | 164.9-331.2 | 9.9-19.9 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 143.9-388.8 | 8.6-23.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 164.9-358.2 | 9.9-21.5 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 146.9-438.2 | 8.8-26.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 164.9-378.1 | 9.9-22.7 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
طبق ISO 1217 پیوست C، ویرایش چهارم (2009)، شرایط مرجع عملکرد واحد به شرح زیر است:
· رطوبت نسبی: 0%
· فشار ورودی مطلق: 1 بار
· دمای ورودی: 20 درجه سانتی گراد
جابجایی FAD در فشارهای عملیاتی زیر اندازه گیری می شود:
مدل های سرعت ثابت:
-مدل های 7.5 میله: 7 بار
-مدل های 8.6 میله: 7 بار
-10 مدل میله: 9 بار
مدل های VSD:
-مدل های 8.6 میله: 7 بار
-10.4 میله مدل: 9 bar
(2) سطح فشار صوتی انتشار وزنی کلاس A ایستگاه کاری (LpWSAd). مطابق با ISO 2151:2004 (روش اسکن شدت صدا ISO 9614/2). ضریب تصحیح جدید اضافه شده KpAd نامشخص است و با کد آزمایشی مطابقت دارد.
(3) V1=380V، V2=400V.
(4) وزن فقط برای مرجع است. وزن واقعی غالب خواهد بود.
ZR/ZT 200-275 (FF)
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | توان نصب شده (کیلووات) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 200 -7.5 | 7.5 | 602.3 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200 -8.6 | 8.6 | 552.1 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200 -10 | 10 | 506.6 | 30.0 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -7.5 | 7.5 | 718.0 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -8.6 | 8.6 | 684.3 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -10 | 10 | 622.8 | 37.4 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -7.5 | 7.5 | 774.4 | 46.5 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -8.6 | 8.6 | 718.0 | 43.1 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -10 | 10 | 683.9 | 41.0 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -13 | 13 | 561.8 | 33.7 | 275 | 70 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2008 |
| ZT 200 -7.5 | 7.5 | 567.1 | 34.0 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 200 -8.6 | 8.6 | 519.5 | 31.2 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 200 -10 | 10 | 497.4 | 29.8 | 200 | 78 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -7.5 | 7.5 | 711.5 | 42.7 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -8.6 | 8.6 | 676.8 | 40.6 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -10 | 10 | 614.3 | 36.9 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -7.5 | 7.5 | 745.4 | 44.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -8.6 | 8.6 | 711.5 | 42.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -10 | 10 | 676.4 | 40.6 | 275 | 78 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | توان نصب شده (کیلووات) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 250 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-714.4 | 14.6-42.9 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2-640.2 | 14.1-38.4 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-788.1 | 14.6-47.3 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2-700.0 | 14.1-42.0 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZT 250 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0-696.9 | 14.3-41.8 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0-633.4 | 23.2-38.0 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0-739.4 | 14.3-44.4 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0-681.0 | 23.2-40.9 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
-رطوبت نسبی: 0%
- فشار ورودی مطلق: 1bar
-دمای ورودی: 20 درجه سانتیگراد
نرخ تخلیه (FAD) در فشارهای عملیاتی زیر اندازه گیری شد
نوع سرعت ثابت:
-7.5 نوع میله: 7 bar
-8.6 نوع میله: 7 bar
-10 میله نوع: 9 bar
نوع VSD:
-8.6 نوع میله: 7 bar
-10.4 نوع میله: 9 بار
(2) سطح فشار صوتی انتشار وزنی کلاس A ایستگاه کاری (LpWSAd).
اندازه گیری بر اساس ISO 2151:2004 (با استفاده از 150 9614/2 (روش اسکن شدت صدا).
ضریب تصحیح جدید اضافه شده یک مقدار کاملا نامشخص (KpAd) است که مطابق با کد تست است.
(3) وزن فقط برای مرجع است. وزن واقعی ارائه شده غالب خواهد بود.
ZR 300-750
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | توان نصب شده (کیلووات) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 300 -7.5 | 7.5 | 774.6 | 46.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 300 -8.6 | 8.6 | 725.7 | 43.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 300 -10 | 10 | 695.1 | 41.7 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -7.5 | 7.5 | 848.0 | 50.9 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -8.6 | 8.6 | 793.1 | 47.6 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -10 | 10 | 766.6 | 46.0 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -7.5 | 7.5 | 939.1 | 56.3 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -8.6 | 8.6 | 877.1 | 52.6 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -10 | 10 | 839.6 | 50.4 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -8.6 | 8.6 | 963.9 | 57.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -10 | 10 | 930.5 | 55.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 425 -7.5 | 7.5 | 1143.9 | 68.6 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 425 -8.6 | 8.6 | 1063.1 | 63.8 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -7.5 | 7.5 | 1275.7 | 76.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -8.6 | 8.6 | 1191.8 | 71.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -10 | 10 | 1106.3 | 66.3 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -7.5 | 7.5 | 1399.1 | 78.3 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -8.6 | 8.6 | 1305.2 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -10 | 10 | 1217.8 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -7.5 | 7.5 | 1715.0 | 102.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -8.6 | 8.6 | 1595.0 | 95.7 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -10 | 10 | 1484.1 | 88.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -7.5 | 7.5 | 2046.2 | 122.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -8.6 | 8.6 | 1827.4 | 109.6 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -10 | 10 | 1696.7 | 101.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 |
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | توان نصب شده (کیلووات) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | وزن - عملکرد کامل (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 355 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1037.5 | 22.3-62.2 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-942.4 | 22.5-56.5 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1120.9 | 22.3-67.3 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-998.6 | 22.5-59.9 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-1177.9 | 22.5-70.7 | 81 | 81 | 9190 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 700 VSD -8.6 | 8.6 | 374.4-2061.8 | 54.9-123.7 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 700 VSD -10.4 | 10.4 | 849.7-1840.5 | 51.0-110.4 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 900 VSD -8.6 | 8.6 | 930.7-2475.4 | 55.8-148.5 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 900 VSD -10.4 | 10.4 | 864.8-1873.2 | 51.9-112.4 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 |
شرایط مرجع عملکرد برای واحد طبق پیوست C، ویرایش چهارم (2009) ISO 1217 اندازهگیری شد:
· رطوبت نسبی: 0%
· فشار ورودی مطلق: 1 بار
· دمای ورودی: 20 درجه سانتی گراد نرخ تخلیه (FAD) در فشارهای عملیاتی زیر اندازه گیری شد:
نوع سرعت ثابت:
· -7.5 میله نوع: 7 bar
· -8.6 میله نوع: 7 bar
· نوع -10 میله: 9 بار
نوع VSD:
· -8.6 میله نوع: 7 bar
· -10.4 نوع میله: 9 بار
· (2) سطح فشار صدا انتشار وزنی کلاس A ایستگاه کاری (LpWSAd). اندازه گیری بر اساس ISO 2151:2004 (با استفاده از روش اسکن شدت صدا 150 9614/2). ضریب تصحیح جدید اضافه شده یک مقدار کاملا نامشخص (KpAd) است که مطابق با کد تست است.
· (3) وزن فقط برای مرجع است. وزن واقعی ارائه شده غالب خواهد بود.
ZR 200X-400X
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | توان نصب شده (کیلووات) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 200X -7.5 | 7.5 | 623.1 | 37.4 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200X -8.6 | 8.6 | 601.9 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200X -10 | 10 | 551.7 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250X -7.5 | 7.5 | 717.7 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250X -8.6 | 8.6 | 683.8 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315X -7.5 | 7.5 | 939.0 | 56.3 | 315 | 76 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -8.6 | 8.6 | 963.5 | 57.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -10 | 10 | 930.2 | 55.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 400X -7.5 | 7.5 | 1143.8 | 68.6 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 400X -8.6 | 8.6 | 1062.7 | 63.8 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 VSD+ | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 145 VSD+ | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD+ | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 90 VSD+ | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 110 VSD+ | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 132 VSD+ | 10.4 | 78.8-377.5 | 4.7-22.7 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 145 VSD+ | 10.4 | 78.8-409.0 | 4.7-24.5 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| مدل | حداکثر فشار اگزوز (بار) | FAD ترافیک (l/s) | FAD ترافیک (m³/min) | سطح نویز (dB(A)) | وزن استاندارد (کیلوگرم) | اندازه L (میلی متر) | اندازه W(mm) | اندازه H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 90 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 110 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 132 VSD+ FF | 10.4 | 107.0-377.5 | 6.4-22.7 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 145 VSD+ FF | 10.4 | 118.0-409.0 | 7.1-24.5 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ FF | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
شرایط مرجع عملکرد برای واحد طبق پیوست C، ویرایش چهارم (2009) ISO 1217 اندازهگیری شد:
· رطوبت نسبی: 0%
· فشار ورودی مطلق: 1 بار
· دمای ورودی: 20 درجه سانتی گراد نرخ تخلیه (FAD) در فشارهای عملیاتی زیر اندازه گیری شد:
نوع سرعت ثابت:
· -7.5 میله نوع: 7 bar
· -8.6 میله نوع: 7 bar
· نوع -10 میله: 9 بار
نوع VSD:
· -8.6 میله نوع: 7 bar
· -10.4 نوع میله: 9 بار
· (2) سطح فشار صدا انتشار وزنی کلاس A ایستگاه کاری (LpWSAd). اندازه گیری بر اساس ISO 2151:2004 (با استفاده از روش اسکن شدت صدا 150 9614/2). ضریب تصحیح جدید اضافه شده یک مقدار کاملا نامشخص (KpAd) است که مطابق با کد تست است.
· (3) وزن فقط برای مرجع است. وزن واقعی ارائه شده غالب خواهد بود.
یک تولیدکننده الکترونیک در آسیا، سیستم هوای تخصصی DECHUAN را برای تامین حلقههای تولید نیتروژن با خلوص بالا و بازوهای تست پنوماتیک نصب کرد. پیش از این، کمپرسورهای استاندارد اجازه میدادند تا بخارات روغن از فیلترهای درون خطی عبور کنند، لنزهای لیتوگرافی را پوشش میدادند و باعث شکستگیهای ریز در پوششهای ویفر میشدند. پس از نصب کمپرسور هوای بدون روغن برای آزمایشگاههای نیمه هادی، آزمایشگاه هیچ حادثه آلودگی خط مربوط به روغن را گزارش کرد که باعث صرفهجویی قابل توجهی در هزینههای تمیز کردن اتاق تمیز و کالیبراسیون مجدد طی دو سال کارکرد مداوم شد.
• ارتقاء مواد فولادی ضد زنگ: ما تمام اجزای استاندارد ریخته گری داخلی را با فولاد ضد زنگ درجه بالا جایگزین می کنیم تا دستورالعمل های دقیق میکرو آلودگی را رعایت کنیم.
• پروتکل های ارتباطی پیشرفته: واحد با پروتکل های ارتباطی تخصصی از قبل بارگذاری شده است که به مراکز کنترل اتاق تمیز اجازه می دهد تا از راه دور معیارهای هوا را نظارت کنند.
• ردپای ساختاری فشرده: چیدمان داخلی برای به حداقل رساندن ردپای بهینه شده است و نصب آن را در فضاهای زیرزمین آزمایشگاهی تنگ آسان می کند.
پاسخ: بله، خروجی هوای ما کاملاً با خشک کن های پیشرفته خشک کن اتاق تمیز و سیستم های فیلتر ذرات زیر میکرون سازگار است. از آنجایی که هوای خام حاوی بخار روغن صفر است، فیلترهای تخصصی نقطه استفاده شما با غبار روغن مسدود نمی شوند و عمر فیلتر را افزایش می دهند.
پاسخ: کمپرسور هوای بدون روغن برای آزمایشگاه های نیمه هادی دارای یک فضای هوای فیزیکی بین محفظه دنده روغن کاری شده با روغن و محفظه فشرده سازی خشک است. مهر و موم های رینگ کربن غیر تماسی تخصصی با کانال های فشار منفی جفت می شوند و اطمینان حاصل می کنند که هرگونه غبار روغن دنده به طور کامل از ورود به جریان هوای پاک مسدود می شود.
A: کنترلر Elektronikon® چندین بار در ثانیه از داده های حیاتی نمونه برداری می کند. اگر در هر مرحله یک افزایش دما تشخیص داده شود، سیستم فوراً باعث خاموش شدن خودکار میشود و دریچههای جداسازی را میبندد و اطمینان حاصل میکند که هوای خنکنشده هرگز در پایین دست به تجهیزات حساس آزمایشگاه شما جریان نمییابد.
حق چاپ © 2025 Dechuan Compressor (Shanghai) Co., Ltd. کلیه حقوق محفوظ است.
